Description de l’instrument

Le système d’alignement de masque et d’exposition UV OAI modèle 200 est un aligneur de masque haute performance rentable qui a été conçu avec des composants éprouvés par l’industrie qui ont fait d’OAI un leader dans l’industrie des équipements d’équipement de photolithographie. Le modèle 200 est un aligneur de masque de paillasse qui nécessite un espace minimal en salle blanche. Il offre une alternative économique à la R&D, ou à une production pilote à échelle limitée. Utilisant un système de mise à niveau innovant, à palier à air / mandrin à vide, le substrat est mis à niveau rapidement et doucement, pour un alignement parallèle du masque photo et un contact uniforme à travers la plaquette pendant l’exposition par contact. Le système est capable d’une résolution d’un micron et d’une précision d’alignement.

Le module d’alignement comprend des ensembles d’inserts de masque et des mandrins à plaquettes à changement rapide qui facilitent l’utilisation d’une variété de substrats et de masques sans nécessiter d’outils spéciaux pour la reconfiguration. Le module d’alignement intègre des micromètres pour les axes X, Y et Z.

Le Model 200 Mask Aligner dispose d’une source de lumière OAI fiable qui fournit une lumière UV collimatée en UV proche ou profond en utilisant des lampes dont la puissance varie de 200 à 2000 watts. Des boucles de rétroaction optiques à double capteur sont liées au contrôleur d’intensité constante pour fournir un contrôle de l’intensité d’exposition à ± 2% de l’intensité souhaitée. Des modifications peuvent être apportées à la longueur d’onde UV rapidement et facilement. Cet aligneur de masque est une solution flexible et économique pour toute application d’alignement de masque d’entrée de gamme et d’exposition aux UV.

Model : OAI, Hydralign Series 2000
Room : PK-2274